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超高純鎢靶材
來源: 時間:2022/2/14 13:59:13 點擊次數:4011

在半導體工業中,鎢薄膜主要用作構成電子部件的材料,例如柵電極或布線材料。這些電子部件的集成度、可靠性、功能特性和處理速度等要求日益增加。鎢具有低電阻、高耐熱等特性,廣泛用于這些電子部件中,并且很好的滿足了上述需求。鎢薄膜可通過物理氣相沉積(PVD)技術制備得到,即通過濺射具有高密度高純鎢靶材而獲得。

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